رله یا دستگاه EL-FLOWاز شرکت Bronkhorst در واقع یک «متر / کنترلر جریان جرمی (mass flow meter/controller)» است. در ادامه دقیقاً کاری که این دستگاه انجام میدهد، اصول کاریاش و کاربردهای متداولاش را شرح میدهم:
⸻
چه کاری انجام میدهد (کارایی)
1. اندازهگیری جریان جرمی گاز
• EL-FLOW یک متر جریان جرمی (Mass Flow Meter) است، یعنی جریان گاز را بر اساس جرم آن (نه فقط حجم) اندازهگیری میکند. 
• مزیت اندازهگیری جرمی: دقت بالاتر، وابسته کمتر به تغییر فشار یا دما گاز. 
2. کنترل جریان گاز (اگر مدل کنترلر باشد)
• بعضی از نسخههای EL-FLOW کنترلر هم هستند (Mass Flow Controller = MFC) که یک شیر کنترل داخلی دارند. وقتی جریان اندازهگیری شده با مقدار هدف (setpoint) اختلاف دارد، شیر تنظیم میشود تا جریان واقعی به مقدار دلخواه برسد. 
• این کنترل به صورت پیوسته و خودکار انجام میشود (کنترل حلقه بسته). 
3. اصل کاری حرارتی — سنسور ترمال با بایپس
• سنسور جریان از نوع حرارتی است: بخشی از جریان گاز وارد یک مسیر سینک (بایپس) میشود که دارای یک تیوب بسیار نازک (کاپیلاری) است. 
• در داخل تیوب، مقاومتهایی بهعنوان هیتر وجود دارد و دما در دو نقطه اندازهگیری میشود. وقتی گاز جریان دارد، حرارت از تیوب گرفته میشود و اختلاف دمای بین دو نقطه تغییر میکند. این ΔT با جرم جریان در ارتباط است. 
• عنصر “Laminar Flow Element (LFE)” در مسیر اصلی جریان باعث میشود بخشی از گاز با نسبت مشخص وارد بایپس شود و جریان سنسور با جریان کلی متناسب باشد. 
4. کنترل و ارتباطات الکترونیکی
• برد الکترونیکی داخلی برای کنترل دارد (کنترل PID) که بر اساس اختلاف بین جریان اندازهگیری شده و setpoint، شیر را تنظیم میکند. 
• انواع خروجی / ورودی: آنالوگ (مثلاً 0–5V، 4–20 mA) و دیجیتال (مثل RS-232 یا فیلدباس) وجود دارد. 
• مدلهای مختلف EL-FLOW دارای قابلیت “Multi-Gas / Multi-Range” هستند: میتوانند برای گازهای مختلف یا بازه جریان مختلف تنظیم شوند. 
5. دقت و پایداری بالا
• دقت این دستگاهها بسیار بالاست (مثلاً ±0.5٪ از مقدار خواندهشده + ±0.1٪ از حد کامل). 
• برخی مدلها برای فشارهای بالا طراحی شدهاند (تا چند صد بار) و همچنین برای گازهای خالص / حساس امکان مدل Metal-Sealed وجود دارد. 
⸻
کاربردهای معمول
• کنترل دقیق گاز در فرایندهای آزمایشگاهی
• دوزینگ گازها در سیستمهای شیمیایی (مثلاً در راکتورهای شیمیایی)، زیرا ترکیب گاز باید دقیق باشد. 
• استفاده در تولید باتریها (مثلاً ترکیب گازها در مرحله تولید آند یا کاتد) 
• تکنولوژی پوشش (coating) و لایهنشانی (مثلاً در تولید پوشش با گاز)
• کاربرد در صنعت نیمههادی (گازهای خالص، فشار بالا)
• مطالعه و تحقیق در زمینه سوخت و فناوری پاک (مثلاً در آزمایشگاه سوخت سلول، هیدروژن)
⸻
مزایا و محدودیتها
مزایا:
• بسیار دقیق در اندازهگیری جرمی
• بازه وسیع جریان (بسته به مدل)
• پایداری بالا و امکان کنترل دقیق
• گزینههای ارتباطی دیجیتال و آنالوگ
• امکان تنظیم برای گازهای مختلف و بازههای مختلف
محدودیتها:
• نیاز به گاز تمیز (ذرات زیاد میتوانند مسیر بایپس را مسدود کنند) 
• نیاز به تأمین تغذیه الکتریکی برای بخش الکترونیکی
• برای برخی فرایندهای خیلی دینامیک یا نوسانات شدید فشار ممکن است به تیون کنترل (تنظیم PID) نیاز باشد
• هزینه بالاتر نسبت به فلومتر ساده (بدلیل وجود کنترلر و سنسور دقیق)